真空泵的工作原理 水环式真空泵 东莞真空泵
真空泵的使用:
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。满足真空设备的极限真空及工作压强要求。由于每种真空泵都有它的极限真空度,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,东莞真空泵,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。若设备严格要求无油时,应该选择各种无油泵,如:无油真空泵、水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油的旋片真空泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
每种泵都有一定的工作压强范围,如:SKA型水环式真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
旋片泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%.
在每种旋片真空泵中,SKA水环真空泵,又有单级和双级之分。在单级泵中,由于选用的构造方式和参数不同,循环水真空泵,泵的极限压力和用处也不同。它们的共同特点是构造较复杂,运用方便,能从大气压力下起动,可间接排入大气,公平质量较小,维护简便,真空泵的工作原理,双级泵的极限压力为6*10-2~1*10-2Pa,一种单级泵可达4Pa左右,另一种单级泵为50~200Pa左右。
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